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2020-11-24
流量傳感器想必大家都知道它分為檢測液體流量、氣體流量，以下我們來談下空氣流量傳感器：
MEMS氣體質(zhì)量bai流量計采用具有自主知識產(chǎn)du權的zhiMEMS芯片作為傳感器核心部件，當沒有氣體介質(zhì)dao流過傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）,當氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流量.
以下我們來看下歐姆龍流量傳感器的結構：
歐姆龍MEMS氣體流量傳感器特點：
1、高精度測量微流量
采用溫差檢測方式，實現(xiàn)±3% F.S.的高精度傳感
2、溫度特性 實現(xiàn) ±3% F.S.
溫度的影響小，無需進行溫度補償即可測量質(zhì)量流量
3、可優(yōu)化質(zhì)量流量的高速響應性
實現(xiàn)了高速響應性，輸出達到 ±3% F.S 只需20ms
優(yōu)化空燃比并提高了測量可靠性
4、應用廣泛的低功耗
熱電堆為熱電動勢輸出方式，功耗低于電阻式
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