MEMS非接觸式溫度傳感器的特點以及使用范圍介紹

　　歐姆龍曾在國際福利機械展上推出新型的非接觸式溫度傳感器。這種傳感器在檢測部位應用了歐姆龍獨特的MEMS技術，具有可感測紅外線的高靈敏度。接下來歐姆龍代理商鼎悅電子對MEMS非接觸式溫度傳感器的特點以及使用范圍做具體介紹。

　　由于MEMS技術，傳感器元件被縮小到150微米，將傳感器元件排成16*16的陣列時，芯片尺寸只有6mm見方，據(jù)稱為"業(yè)界最小水平"，靈敏度提高至原來的7倍。

　　鼎悅電子表示，非接觸溫度傳感器具有攝像頭及熱釋傳感器所不具備的特點，即對照明環(huán)境適應性強，可感應到處于靜止狀態(tài)的人。但因其靈敏度較低，需要縮小感應區(qū)域。因此，要在較大的空間內(nèi)進行檢測，需要安裝用來驅(qū)動非接觸溫度傳感器的機構以及多個傳感器，所以目前尚未普及。

　　普通的非接觸溫度傳感器元件，很多紅外線都會穿透紅外線吸收膜，因而靈敏度較低。此次通過采用在開發(fā)液晶用背照燈時培育的光波控制技術，開發(fā)出了可使紅外線匯聚到紅外線吸收膜的微鏡。開發(fā)這種微鏡時，研究人員在以往很難形成曲面的硅晶圓上制作出了自由曲面。由于可在硅晶圓上形成微鏡，因此能在晶圓級別上使傳感器元件與鏡片進行真空接合，從而減少釋放到空氣中的熱量，以此提高靈敏度。可在保持響應速度不變的情況下將靈敏度提高至原來的7倍。這樣，便可使感應區(qū)域擴大至原來的7倍。據(jù)介紹，芯片的靈敏度為350V/W，響應速度為3ms左右。

　　MEMS非接觸式溫度傳感器的使用范圍：

　　MEMS非接觸式溫度傳感器可以廣泛應用于身邊的節(jié)能型家電、BEMS、HEMS、甚至工廠自動化領域。感應區(qū)域擴大至原來的7倍后，可在店鋪及車站等場所，實時檢測人群的擁擠情況，由此可將非接觸溫度傳感器用于空調(diào)控制用途，還能用于檢測夜間有人闖入、甚至對靜止人物也能檢測高靈敏度的人體感應傳感器。